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激光扫描-高精密五轴联动

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客户要求:
1,X轴有效匀速扫描距离:360mm,速度100mm/s,最大速度300mm/s;
2,Y轴有效匀速扫描距离:500mm,速度100mm/s,最大速度300mm/s;
3,旋转A:110度;旋转B:360度;速度60rad/s;
4,Z轴最大行程260mm,最大速度200mm/s;
5,重复定位精度5um以内;

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激光微加工_高速高精度陶瓷基片微孔加工

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客户要求:
1,双向重复定位精度:±1μm;
2,平台具备快速定位能力,稳态时间<100ms;
3,2mm快速点定位,要求运动时间<70ms;
4,激光打孔工作时间15ms,要求单孔加工<185ms,即5-6孔/min;
5,XY单独运动,没有插补运动;

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